一、半導體/集成電路

蓋斯帕(pa)克常年與集成系統三極(ji)管批(pi)發(fa)廠家戰略合作(zuo)，針(zhen)對性激發(fa)設定安裝程序的(de)(de)高純的(de)(de)EP級特氣柜(ju)、氣體(ti)分配柜(ju)廣泛(fan)用于濕蝕刻(wet etching)、干蝕刻(ke)(dry etching)、自然壓(ya)催(cui)化(hua)(hua)液相淀積（APCVD）、低壓(ya)化(hua)(hua)學(xue)氣(qi)(qi)(qi)相淀積（LPCVD）、等(deng)離(li)子體化(hua)(hua)學(xue)氣(qi)(qi)(qi)相淀積（PECVD）、濺射（PF）、光刻等(deng)半導體設備的(de)(de)供氣(qi)(qi)(qi)服務，同時還算征對各家(jia)工(gong)廠(chang)的(de)(de)實際特點，量身定(ding)制地開(kai)發(fa)了危險氣(qi)(qi)(qi)體監控(kong)管理(li)系統（GDS），為廠(chang)家(jia)的(de)(de)安全生產(chan)(chan)保駕護(hu)行。還相應(ying)開(kai)發(fa)了上述生產(chan)(chan)設備的(de)(de)尾氣(qi)(qi)(qi)處(chu)理(li)系統，保證(zheng)了工(gong)廠(chang)廢氣(qi)(qi)(qi)的(de)(de)排(pai)放(fang)達標(biao)