雙瓶特氣柜(Gas Cabinet)

名稱：雙瓶特氣柜

規格：雙工藝氣瓶，全自動

型號：HSPGC150206 

■ 特氣(qi)柜(ju)尺寸：W850寬(kuan)×D500深×H1800高 

■ 外吹掃：PN2，1/4"MVCR接(jie)口 

■ 抽真空：GN2，1/4"MVCR接口(kou) 

■ 氣動隔膜閥：CDA驅動，1/4"卡套接口(kou) 

■ VENT排空管：1/2MVCR接口 

■ 工藝氣體出口(kou)：2個，1/4"MVCR接(jie)口(kou) 

■ 盤(pan)面規格：1/4"盤(pan)面

■ 標準配備：自動切(qie)換，防爆(bao)(bao)防腐柜體(ti)，防爆(bao)(bao)自鎖門，防爆(bao)(bao)玻璃觀(guan)察窗，泄漏報警，遠程切(qie)斷(duan)，欠(qian)壓報警，主材SS316L

■ 柜體換氣量(liang):OD100mm排氣口，SiH4-1200次(ci)/小(xiao)時，其余300次(ci)/小(xiao)時 

■ 控制柜尺寸：W850寬×D230深×H320高 

■ 控制柜電源：220VAC，50HZ，200W，漏(lou)電保護

■ 操作界面(mian)：7"彩色觸摸(mo)屏

■ 選配：工藝(yi)氣瓶重量監控器，工藝(yi)氣體超壓報警(jing)，盤(pan)面加熱及溫控裝置(zhi)，報警(jing)信號手機短信與電話(hua)通(tong)知(zhi) 

不用途內：用途在 MOCVD、PECVD、刻蝕機等配套工程建筑專用設備上，反映于集成ic半導、太陽隊能光伏太陽隊能容量電池、怪物藥業工程建筑、微智能新原料等餐飲行業。